Tubo de fibra de carbono reforzado
Tubo de fibra de carbono reforzado con múltiples capas con resistencia a la flexión mejorada. Adecuado para industrias marinas, de defensa y transporte. Opciones de retardante de fuego disponibles.
Descripción
Marcos de metrología de fibra de carbono ultra precisión
Solución de estabilidad submicrónicaDiseñados para las máquinas de medición de coordenadas (CMMS) y las etapas de litografía, nuestros tubos de carbono basados en el tono logran una estabilidad térmica {{1 1}}. 08 µm/ m/ m/ m/ grado - 5 x mejor que las aleaciones de invar. El secreto se encuentra en:
Avance de la ciencia de los materiales
Arquitectura de fibra: Fibras de tono de mesofase de mesfase K13D2U (rendimiento de carbonización del 93%)
Tejido híbrido: 1k Weave simple + 12 K UD Refuerzo axial
Aditivo de amortiguación: 2% de partículas viscoelásticas de capa limitada
Métricas de rendimiento crítico
| Parámetro | Nuestro tubo | Granito (típico) |
|---|---|---|
| CTE (20-25 grado) | 0. 01 ppm/k | 6.5 ppm/k |
| Frecuencia natural | 420 Hz | 180 Hz |
| Creep (1 año @ 50n) | 0.3µm | 12µm |
Estudio de caso: alineación de semiconductoresInstalado en etapas de máscara de EUV en el 2NM FAB de TSMC:
Errores de superposición reducidos de {{0}}. 22nm a 0.07nm
Activado 98.7% de rendimiento de obleas frente a 93.4% con guías de cerámica
Mejora del tiempo del ciclo del 22% a través de una compensación térmica reducida
Compatibilidad de la sala limpia
DIGASSING: 0. 003% TML (NASA ASTM E595 Cumpliendo)
Emisión de partículas:<5 particles/ft³ (ISO Class 1 standard)
Protección de ESD: 10⁶ -10 ⁹ Ω Resistividad de la superficie
Protocolo de mantenimiento
Recotación anual con etileno propileno fluorado (FEP)
Calibración del interferómetro láser cada 5, 000 horas
10- Garantía de estabilidad dimensional de año
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